中科飞测获得实用新型专利授权:“一种检测设备以及检焦装置”
2024-05-13 【 字体:大 中 小 】
证券之星消息,根据企查查数据显示中科飞测(688361)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种检测设备以及检焦装置”,专利申请号为CN202321827058.4,授权日为2024年2月23日。
专利摘要:一种检测设备以及检焦装置,检测设备包括运动装置、检焦装置和成像装置;运动装置具有移动平台,移动平台用于承载待测件并带动待测件沿预设运动方向进行移动;检焦装置包括检焦模块以及调节模块;检焦模块被配置为向待测件投影检焦图案;调节模块被配置为设定检焦模块产生的检焦图案的投影角度,以使得检焦图案中投影特征的预设延伸方向与移动平台的预设运动方向之间具有倾斜关系;成像装置包括探测器和光学镜组,探测器用于通过光学镜组对待测件进行取像以得到检测图像;检测图像包括投影特征对应的第一成像特征,第一成像特征被用于确定光学镜组和待测件的距离。本申请可以提高检测设备的检测精度。
今年以来中科飞测新获得专利授权15个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元,同比增10.64%。
数据来源:企查查
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